X射线镀层测厚仪实现微小光束的高灵敏度，通过微小准直器提高了膜厚测量精度。镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2。另外，针对检测器的特性开发了新的EP法，X射线镀层测厚仪可进行无标样测量。测量结果可一键生成报告书，简单方便。

新薄膜EP法    

    减少检量线制作的繁琐程度、实现了设定测量条件的简易化；

    无标样测量方法可进行zui多5层的膜厚测量；

自动对焦功能和距离修正功能    

    凹凸落差的样品可通过薄膜EP法做成的相同测定条件进行测量；

灵敏度提高

    镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2；

生成报告功能

    一键生成测量报告书；

 

广域样品观察

X射线镀层测厚仪对测量平台（250mm*200mm）上放置的样品拍摄一张静态画面后，可在获取的广域观察图像上狭域的观察位置。由此，可大幅减少多数测量点位置的选取时间，以及在图像上难以寻找的特定点位置的选定时间。

广域图像观察    轻松定位；

 

自动对焦功能 自动接近功能

在X射线镀层测厚仪样品台上放置各种高度的样品时，只要高低差在80mm范围内，即可在3秒内自动对焦被测样品。由此进一步提高定位操作的便捷性。

自动对焦功能    简便的摄像头对焦；

自动接近功能    位置的对焦。